光学多層膜コーティングの異物不良が51%減少

医療デバイス・光学デバイスメーカーでの事例

光学デバイス製造工場における多層コート蒸着工程で、空間トリンク (TAS-811 SFS) の空間防塵効果が異物不良削減に貢献しています。 この工場では、空間トリンクを設置し半年間をかけてその効果を実証しました。空間トリンクは作業エリアをイオンで満たします。このイオン空間内にある製品や浮遊するホコリの全ての静電気が中和されるために、異物付着を防止することができます (空間防塵効果) 。この空間防塵効果が作用する空間で素子をクリーニングし蒸着窯にセットすることで、蒸着時の異物混入を防止することが可能になるのです。複数の現場で検証した結果、最大で51%の大きな改善効果を達成しました。試験中に一部空間トリンクを取り外したことがあったそうですが、その時は装置を外した途端に不良率が悪化したとのことです。

以上のように大きな異物付着防止効果が実証され、空間トリンクは無くては困る、必須のアイテム、知らなかったら不幸という高い評価を得ることができました。評価に参加した各部署の担当者からは、直ぐに正式に購入してほしいという依頼が殺到しており、順次機器の導入を進めている計画です。