蒸着窯クリーナ

　真空蒸着装置は、レンズやフィルムなどに薄膜を形成する装置で、様々な製品の性能・品質向上に寄与しています。
この蒸着装置ですが、処理後にはその原理上、蒸発した金属や金属酸化物の一部が内壁に付着します。この付着物を放置すると異物不良が発生するため、定期的な清掃が必要です。しかし、清掃作業中に異物がクリーンルーム内に漏れ出ることを完全に防ぐのは難しくクリーンルームが汚染されてしまうというのが実情です。異物流出を防ぐためにクリーンブースを設置して対策することもありますが、都度クリーンブースを設置することや、更には複数の蒸着装置の間を移動させることは時間と労力の面で効率が悪いため、より簡便な清掃方法が求められてきました。
　TRINCの「蒸着窯クリーナ」は、除塵能力で定評のあるバキュームトリンクが装置内部の異物を強力に取り除き、移動が容易な小型集塵機と飛散防止アダプターが異物流出を防ぎます。コンパクトなシステムで蒸着装置の内部を異物の流出を抑えつつ効果的に異物を除去することが可能であり、クリーンルームをクリーンに保ちます。