クリーン環境機器クリーン保管

クリーン保管車

TAS-213 CSV-HL

ウェハー運搬中のコンタミ防止
クリーン度クラス10 以下
静電気±10V 以下
究極のクリーン環境で保管・搬送を実現

特徴

■高クリーン度
■ハイイオンバランス
■イージーメンテナンス

用途

電子部品・精密機器

この製品について問い合わせるこの製品をストックし、
他の製品と一緒に問い合わせる

特徴詳細

超清浄環境

従来は最上段以外は上段のホコリが降るため下段になるほど不浄であったが、
本機は全段がクラス10以下の超清浄環境を実現

超高速浄化

僅か1分でクラス10以下の清浄度に到達

全段同時浄化

従来は下段ほど浄化時間が長かったが、本機は全段が同時に1分で浄化完了

全段の内圧が均一

従来は下段に行くにつれて内圧が下がり外気が侵入しやすかったのに対し、本機は全棚段で内圧が一定であるため外気が侵入せず、高い清浄度を維持することが可能

大気圧アース機能により全段が陽圧

全棚段の下流で大気圧アースすることにより、全体が陽圧に保たれ外気が侵入できない

全棚段が独立高性能イオナイザー（除電器）装備

全棚段に独立した無風高性能イオナイザー（除電器）を装備
高度なイオンバランス制御により、高品質除電が可能なため保管物の帯電がないことから
・静電気による電気的な事故が起きない
・異物の付着が起きない

クラス10以下を達成！

半導体に代表される精密分野や、バイオに関連する医療分野では静電気と異物混入が大きな問題となっています。
そのため加工工程や処理工程においては様々な静電気・異物対策が行われている反面、工程間の保管や運搬中の対策は見落とされていました。

クリーン保管車は、庫内に高い清浄空間を実現します。
新しい大気圧アース機能を開発し外部から異物の侵入する可能性をゼロに抑えています。
また、ワークの出し入れ時にも外部のホコリを吸込まない気圧設計になっています。
各棚には独立したイオナイザー（除電器）を装備し静電気対策も万全です。
新しい無線アース技術により運搬中の静電気発生も完全に抑え究極の保管と運搬が実現できます。