バートリンク（超高精度・高信頼性型）
XXXX=190/0490/0790/1090/1390/1690/1990/2290/2590/2890
半導体・液晶向け最高級バートリンク
無風トリンクで静電気と異物不良問題を一挙に解決
■フィードバック
■無風除電®
■無漏除電®
■送風可能
■N2シース可能
■超小電力
■ワンタッチクリーナ( オプション）
■独立マルチセグメント方式
特徴詳細
IMS方式（独立マルチセグメント方式）
◆バー全域高精度イオンバランス
複数の独立したイオナイザー（除電器）ユニットの集合体構造になっています。各セグメントイオナイザー毎に、独立してイオンバランスが制御されますので、場所によらない高精度で信頼性の高い除電ができます。
◆ノンストップ無停止型
各部が独立セグメント化されているので全体が停止することはありません。ある日突然の異常停止、システムダウンはありません。航空機並みの安全性を確保した除電システムです。セグメント異常は後日、ラインが休止した時に部分的に修理することで対応できます。
◆システム状況の出力
イオンバランス制御状況が信号出力されます。この信号を遠隔でモニターすれば現場のイオナイザー（除電器）の状態が手に取るように把握できます。
◆隣同士が相互補完、24時間連続操業可能
隣り合うイオナイザー（除電器）が互いにイオンを供給しますので、異常事態の発生したイオナイザーを相互補完しあいます。突然の異常停止がありませんから、24時間連続操業しても、夜間緊急呼び出しがなくなり、夜間の保全要員が不要になります。
ノーウインド無風除電
クリーンルーム、クリーンベンチ等のクリーンな環境ではエアブローやFanブローは禁物。クリーンな環境はHEPAフィルターで空気を濾過し、ダウンフローの層流でパーティクルを回収することを基本原理としています。もし、ダウンフローの層流を乱して乱流を起こしてしまうと、この原理が働かなくなってしまい、クリーンルーム、クリーンベンチそのものの存在価値が失われてしまうのです。クリーンルームやクリーンベンチでの静電気対策は必ず無風除電でなくてはなりません。
TRINCはクリーンルームにベストマッチ
TRINCはクリーン環境の中での効果的な除電のため無風除電にこだわりました。バランスの取れたイオンを大量に発生させて、はじめて無風除電が可能になります。クリーンルーム、クリーンベンチを流体解析し、徹底的にパーティクルと静電気を解析して辿り着いた結論です。
パーティクルを拡散させない無風除電
風によるパーティクルの巻上げを防ぎます。無風除電が歩留を改善する基本です。
クリーンルームの環境を維持
無風除電はダウンフローを撹乱しないためクリーンルームの基本を忠実に守ります。
フィードバック制御による最適イオン
従来のイオナイザー（除電器）に用いられているイオンバランスセンサーは、外部の電界の影響を強く受けました。例えば、イオナイザーのそばに帯電した人や手が近づくと、その人や手に帯電する静電気を打ち消すため、これと逆の極性のイオンを多く放射します。即ち、除電対象物と関係ないイオンバランスのイオンがワークに照射されてしまいます。TRINCは、この問題を解決するために電界補正型イオンバランスセンサーを開発しました。この技術の特徴は、人が通ったり人手が近づいても、そのような外乱に左右されることなく、常にイオンバランスの良い高品質イオンを供給し続け、安定した安全な除電を遂行します。
電界補正型イオンバランスセンサー
電界補正型イオンバランスセンサーにより雰囲気の外乱に左右されない高精度フィードバックシステムを実現。常に最適イオンによる高精度除電が可能です。
N2シース
従来はエアブローかＮ2ブローのどちらかしか選択できませんでした。そのためＮ2を使用するときはＮ2シースをするためでも、エアブローなみの流量を必要とし、大量のＮ2ガスを消費していました。TRINCでは2種類のガスを独立して流すことで、この無駄遣いを解消。エアブロー用にエアを大量に流し、同時にＮ2シース用にはＮ2ガスを少量流すことができます。
無発塵化へ
N2ガスを使えばコロナ放電に起因する硝酸アンモニウムが析出しませんので発塵はありません。また放電針（電極針）自身の減耗や発塵がほとんどありません。
放電針（電極針）のメンテ不要化へ
放電針の汚れがないので、放電針の掃除が不要化へ。放電針の酸化、減耗が少ないので、交換不要化へ。
極少のN2消費量 / 安いランニングコスト
従来と違って、極めて少ないN2消費量で動作します。それによりわずかなN2消費で極めて経済的です。
N2シースとエアブローとの併用可能
独立した2つの流路（N2ガス用とエア用の流路）保有。N2で無発塵を実現しつつ、エアブローの力で広域除電も可能。
無漏電と高信頼性
従来は放電針（電極針）のみＮ2シースしていたので高電圧回路の漏電の危険性は避けられませんでした。TRINCでは放電針と高電圧回路全体をＮ2ガスでシース。放電針はもちろん高電圧回路まで湿気による漏電を防止します。また汚れによる電子回路定数のドリフトがなくなり、安定性と信頼性が向上しました。
エアブロー
2シースとは独立したエア流路を設け、自由な流量制御を可能にしました。しかもエア品質不問。エアフィルター不要という従来に例を見ない画期的なシステムが登場しました。
広域除電（最大4m）
エアの力でイオンを運びます。広域の有効除電範囲を確保できます。
最大0.4MPaのエアブローでパーティクル払いも可能
独立したエア流路は最大0.4MPaという高圧でのエアブローを可能にしました。エアの力で付着しているパーティクル払いも可能です。
N2シースとエアブローの併用可能
N2シースで無発塵を実現し、エアブローで広域除電するという「はなれわざ」を可能にしました。
エアフィルター不要、エア品質不問
高価で場所をとるエアフィルターは不要です。高電圧部とエア路を完全隔離しているためエアフィルター無でも漏電の可能性はありません。例えエアに水が含まれていてもイオナイザー（除電器）自身は全く問題ありません。漏電は起こらず、当然漏電検知も発生しません。
低い設備費とランニングコスト
高価で場所を占有するエアフィルターは不要なため設備費が安く済みます。しかもフィルター交換にかかる消耗品費や維持人件費が発生しません。
リークレス
イオナイザは高電圧機器なので湿気の多い場所やエアを使うと漏電します。特に湿気の多いエアは断熱膨脹による結露を生じ、漏電を誘発します。トリンクでは高電圧部をエアから隔離しこの問題を解決しました。
漏電しない構造
TRINCの誇る無漏電構造採用
高電圧部をエアから隔離
電気部とエア部の隔離。高電圧部が漏電しません。
安全
漏電しにくい構造であり、消費電力もわずかなため、火災の可能性はほとんどありません。
コストダウン、歩留り向上、品質向上、生産性向上、求められるすべてを実現する最高峰バートリンク TAS-32 BA
製品番号（型番・形式）
0490
0790
1090
1390
1690
1990
2290
2590
2890
