バートリンク(高精度・多機能型)
XXXX=0490/0790/1090/1390/1690/1990
半導体、液晶向け無風トリンク
コストダウン、歩留り向上、生産性向上など、求められるすべてをローコストで実現
■フィードバック
■無風除電®
■無漏除電®
■送風可能
■N2シース可能
■超小電力
■ワンタッチクリーナ( オプション)
■低価格
特徴詳細
無風除電
クリーンルーム、クリーンベンチ等のクリーンな環境ではエアブローやFanブローは禁物。クリーンな環境はHEPAフィルターで空気を濾過し、ダウンフローの層流でパーティクルを回収することを基本原理としています。もし、ダウンフローの層流を乱して乱流を起こしてしまうと、この原理が働かなくなってしまい、クリーンルーム、クリーンベンチそのものの存在価値が失われてしまうのです。クリーンルームやクリーンベンチでの静電気対策は必ず無風除電でなくてはなりません。
フィードバック制御による最適イオン
従来のイオナイザー(除電器)に用いられているイオンバランスセンサーは、外部の電界の影響を強く受けました。例えば、イオナイザーのそばに帯電した人や手が近づくと、その人や手に帯電する静電気を打ち消すため、これと逆の極性のイオンを多く放射します。 即ち、除電対象物と関係ないイオンバランスのイオンがワークに照射されてしまいます。
TRINCは、この問題を解決するために電界補正型イオンバランスセンサーを開発しました。この技術の特徴は、人が通ったり人手が近づいても、そのような外乱に左右されることなく、常にイオンバランスの良い高品質イオンを供給し続け、安定した安全な除電を遂行します。
N2シース
従来はエアブローかN2ブローのどちらかしか選択できませんでした。そのためN2を使用するときはN2シースをするためでも、エアブローなみの流量を必要とし、大量のN2ガスを消費していました。
TRINCでは2種類のガスを独立して流すことで、この無駄遣いを解消。エアブロー用にエアを大量に流し、同時にN2シース用にはN2ガスを少量流すことができます。
エアブロー
N2シースとは独立したエア流路を設け、自由な流量制御を可能にしました。しかもエア品質不問。エアフィルター不要という従来に例を見ない画期的なシステムが登場しました。
リークレス
イオナイザー(除電器)は高電圧機器なので湿気の多い場所やエアを使うと漏電します。特に湿気の多いエアは断熱膨脹による結露を生じ、漏電を誘発します。
トリンクでは高電圧部をエアから隔離しこの問題を解決しました。
ハイイオンバランス
従来のパルス方式のイオナイザー(除電器)の場合イオンバランスは大きく変動します。イオンが+-交互にパルス的に放射されるため、+イオンが到達すると+のイオンバランスに、-イオンが到達すると-のイオンバランスになります。 すなわちイオンバランスもパルス的に変動してしまうのです。さらにイオナイザー(除電器)のもつシステムドリフトが加算され実際には相当大きなイオンバランスの変動が発生します。パルスの周波数により変化しますが、通常数十Vから数百Vものイオンバランスが観測されます。これでは半導体も破壊しかねず、注意が必要です。
コストダウン、歩留り向上、品質向上、生産性向上、求められるすべてをローコストで実現するバートリンク TAS-34 BA
製品番号(型番・形式)
0790
1090
1390
1690
1990