ディスプレイ製造工場で、異物不良75%減少

フラットパネルディスプレイ (FPD) 製造工場において、ガラス基板を開梱して製造ラインに投入する工程や製造設備から次設備へ製品を移動させる工程で製品に異物が付着してしまい、歩留まりを劣化させていました。 本工場では、これらの工程で異物付着を避けるために、透明なアクリル板でラインを囲って外部から作業空間へ異物が入り込まないように対策していました。しかし、それでも異物付着を避けることができませんでした。どんなにスペースを区切って異物を除去しようと試みても、モノが出入りしたり移動したり組付け・加工されたりする実際の製造現場では異物流入や発塵が避けられなかったのです。

本工場では、従来の対策をいかに追及しようとこれ以上改善効果は期待できないと判断し、新しい異物・静電気対策として空間除電による空間防塵効果の採用を決定しました。設置したアクリルカバーの内部に空間トリンク(TAS-811 SFS、TAS-821 SFS)を導入して、ガラス基板、および、浮遊異物の静電気も中和することで、空間トリンクを設置した翌日から異物不良が75%も激減しました。