洗浄ウエハへの異物付着が90%以上低減

半導体ウエハメーカーでの事例

通信機器用半導体ウエハの製造工場では、ウエハへ付着した異物の影響により検査工程で不良が発生し、大きな問題となっていました。洗浄工程でクリーニングしたウエハを続く検査工程へ移動させる間に、別の異物が付着してしまっていたのです。もちろん、全ての作業はクリーンルーム内で実行され異物対策に細心の注意を払っていたのですが、それでも不良検出が避けられずたいへんお困りの様子でした。 この問題を解決したのが空間除電の空間防塵効果です。洗浄工程と検査工程の間に空間トリンク(TAS-821 SFS)を設置し移動エリアをイオン空間とします。これにより移動時の異物付着を防止し、検査工程での不良発生を激減させることに成功しました。

垂直に立てたウエハへの異物付着が空間除電の有無でどの程度変化するかを測定したところ、異物付着が85%以上減少しました。この結果を受けて、10セットを導入し生産ラインで運用したところ、試験結果と同様の防塵効果が得られ、検査工程での不良発生は90%以上減少しました。

日によっては検査工程での異物不良がゼロになるまで状況が改善したことで、空間トリンクの空間防塵効果が工程間の異物対策に極めて有効であると判断され、他ラインや他工程への水平展開が進んでいます。